Zakład Technologii Mikrosystemów i Technologii Nanostruktur Krzemowych zlokalizowany jest w Piasecznie koło Warszawy, jest częścią Istytutu Technologii Elektronowej. Instytut jest czołowym polskim centrum badawczo-rozwojowym skupiającym się na technologii i elektronice półprzewodnikowej. Misją ITE jest prowadzenie podstawowych i zaawansowanych badań mających na celu komercjalizację innowacyjnych mikro i nanotechnologii, a także ich zastosowania w dziedzinie mikroelektroniki, optoelektroniki, fotoniki i mikrosystemów.

Celem badań jest rozwijanie aktywności zakładu i zapewnienie komunikacji między przemysłem a nauką. W celu zapewnienia dostępu do zaawansowanych technologii krzemowych opartych na heterogenicznych (różnorodnych) mikro- i nanoprzyrządach. Obszar prac badawczo-rozwojowych obejmuje duży zakres technologii od krzemowych detektorów promieniowania widzialnego i jonizującego poprzez układy scalone do czujników i mikrosystemów ze specjalnym uwzględnieniem różnych technologii i przyrządów dla interdyscyplinarnych zastosowań. Znaczące wyniki osiągnięto w kooperacji z naszymi partnerami w badaniach nad mikro- i nanotechnologią opartą na czujnikach i sondach, które wprowadziły nas w fascynujący świat nanotechnologii.