W latach 1966 - 1970 pracownicy Instytutu Technologii Elektronowej otrzymali kilkanaście nagród o zasięgu krajowym (państwowe, resortowe) lub lokalnym (branżowe, konferencyjne, czasopism, organizacji zawodowych czy społecznych), głównie za nowe konstrukcje przyrządów półprzewodnikowych oraz za metody charakteryzacji materiałów półprzewodnikowych i stosowane do niej urządzenia. Najbardziej charakterystyczne dla tego okresu nagrody zespołowe to:

1966 - Nagroda Wydziału Nauk Technicznych PAN za opracowanie projektowania tranzystorów o złączach wytwarzanych w procesie podwójnej dyfuzji

1967 - Nagroda Wydziału Nauk Technicznych PAN za opracowanie krzemowej diody lawinowej

1968 - Nagroda Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego za termistorowe, manganowo-niklowo-kobaltowe elementy miernicze

1969 - Nagroda Przewodniczącego Komitetu Nauki i Techniki za udział w realizacji ważnej dla gospodarki narodowej pracy w zakresie rozwoju nauki i techniki (dotyczy półprzewodnikowych przyrządów galwanomagnetycznych)

1970 - Nagroda Przewodniczącego Komitetu Nauki i Techniki za opracowanie metody umożliwiającej ocenę jednorodności badanych materiałów, a zwłaszcza półprzewodnikowych, przy użyciu oświetlacza laserowego i tabeli wskaźnikowej